3.8.1 Налить на дно первой ванны 25-50 мл перекиси водорода,

открыв кран на передней панели установки с надписью перекись

водорода на 1-2 с. Закрыть кран.

3.8.2 Налить в первую ванну 6 л серной кислоты, открыв кран на

передней панели установки с надписью серная кислота, до верхней

отметки на стенки ванны. Закрыть кран.

3.8.3 Налить во вторую ванну 1.8 л перекиси водорода, открыв кран

на передней панели установки с надписью перекись водорода, до

нижней отметки на стенке ванны. Закрыть кран.

3.8.4 Налить во вторую ванну 4.2 л серной кислоты, открыв кран на

передней панели установки с надписью серная кислота, до верхней

отметки на стенки ванны. Закрыть кран.

3.8.5 Перемешать приготовленную смесь Каро с помощью

стеклянной палочки. Закрыть ванны крышками.

3.8.6 Выставить на реле времени время обработки в первой рабочей

ванне (с серной кислотой) 5 минут, во второй рабочей ванне (со

смесью Каро) 3 минуты.

3.9 Заполнить промежуточную ванну деионизованной водой, открыв кран.

3.10 Проверить термометром температуру горячей деионизованной воды в промежуточной ванне. Она должна быть (65±5)0С.

Если горячая вода в ванне не соответствует указанной температуре, работу остановить, сообщить неполадку.

3.11 Получить в кассете пластины, предназначенные для данной операции. Убедиться по сопроводительному листу, что полученные пластины предназначены для данной операции и что проведены предыдущие операции.

3.12 При измерении объемов жидких материалов допустимое отклонение обеспечивается имеющимися средствами измерения.

2.2.4 Технологический процесс.

4.1 Включить нагреватель ванн соответствующими тумблерами автомата НАГРЕВАТЕЛЬ, поставив тумблеры в верхнее положение, при этом должны загореться сигнальные лампочки.

4.2 Нагреть серную кислоту (в первой ванне) и смесь Каро (во второй ванне) до температуры (150±10)0С.

При достижении технологической температуры загорается сигнальная лампочка регулятора температуры.

4.3 Открыть крышки ванн.

4.4 Убедиться с помощью термометра, что температура нагретой серной кислоты и смеси Каро соответствуют заданной.

В случае несоответствия температур по регулятору и термометру на величину, превышающую 100С, вызвать наладчика для устранения несоответствия.

Разрешается начинать обработку пластин при температуре 1200С.

4.5 Опустить кассету с пластинами с помощью ручки в ванну с нагретой серной кислотой.

Погружение кассет с пластинами проводить медленно. При возникновении бурной реакции при растворении фоторезиста поднять кассету. Следить за тем, чтобы пластины в процессе погружения остались в пазах кассеты.

4.6 Включить реле времени первой рабочей ванны.

4.7 Извлечь кассету с пластинами с помощью ручки из первой ванны при загорании красной сигнальной лампочки.

В одной порции серной кислоты обрабатывать не более 1500 пластин.

При обработке пластин в первой рабочей ванне в серной кислоте после обработки каждых 250 пластин доливать серную кислоту 150-200 мл до уровня верхней отметки на стенке ванны.

4.8 Переставить кассету с пластинами во вторую рабочую ванну со смесью Каро.

4.9 Включить реле времени второй рабочей ванны.

4.10 Извлечь кассету с пластинами с помощью ручки из второй ванны при загорании красной сигнальной лампочки.

В одной порции смеси Каро обрабатывать не более 300 пластин.

После обработки 100 пластин осторожно доливать в ванну со смесью Каро (200±50) мл перекиси водорода. Следующую доливку делать после обработки каждых 50 пластин.

4.11 Выдержать пластины в кассете в рабочем объеме в течении 1-2 минут.

4.12 Поместить кассету с пластинами в ванну с горячей деионизованной водой.

4.13 Промыть пластины в ванне с горячей деионизованной водой в течении 1-2 минут.

4.14 Перенести кассету с пластинами из промежуточной ванны в ванну каскадной промывки.

4.15 Проводить отмывку пластин в деионизованной воде в первой и во второй ваннах каскада в течении 2-3 минут в каждой ванне. В третьей ванне каскада выдержать до снижения сопротивления сливной воды 3 Мом·см по прибору контроля сопротивления деионизованной воды.

4.16 Перенести кассету с пластинами на сушку пластин по ТВО 734 618 по окончании отмывки пластин.

4.17 Передать обработанные пластины в кассете на следующую операцию, заполнив сопроводительный лист.

4.18 Отключить по окончании работы нагреватели ванн, поставив тумблер блока управления НАГРЕВАТЕЛЬ в нижнее положение.

4.19 Слить серную кислоту и смесь Каро из рабочих ванн, открыв кран слива и предварительно охладив их до (80-50) 0С.

Перед сливом серной кислоты добавить в ванну 200 мл перекиси водорода.

4.20 Промыть рабочие ванны, находящиеся в них решетки и нагреватели, деионизованной водой из шланга.

4.21 Закрыть вентили слива и закрыть рабочие ванны крышками.

4.22 Протереть стол установки, крышки ванн салфеткой из мадаполама.

4.23 Отключить технологический блок. Проводить отмывку оснастки и ванн установки не реже одного раза в неделю. Разрешается одновременно обрабатывать по две кассеты с пластинами.

3. Контроль электрических параметров кристалла

3.1 Оборудование

· система измерительная Н2001 (“Интеграл”);

· зонд измерительный ОМ6010;

3.2 Алгоритм программы разбраковки

Алгоритм программы разбраковки кристаллов 564ИЕ10 приведен в табл. 4.

Список литературы

1. Технологический маршрут изготовления кристаллов 564ИЕ10.

.

Табл. 1.

Табл. 2.