ОПЕРАЦИЯ УДАЛЕНИЕ ФОТОРЕЗИСТА В СМЕСИ КАРО

Оборудование.

· установка химической обработки ЩЦМЗ 240 212

· нагреватель ультрачистых сред ЩЦМЗ 031 173

· кассета Æ07-0518

· тара межоперационная ЩИТ - 725

· пинцет Æ09-1114

· держатель Æ03-0767

· стекло 093-2, КЛ.2, штабик 50 ОСТ 11 110735 002-73

· нарукавники полиэтиленовые ТУ 95 7037-73

· термометр жидкостной стеклянный тип А ГОСТ 28 498-90

· пластина со структурами 17.10201.00024

· водорода перекись 17.10201.00022

· кислота серная 17.10201.00024

· вода деионизованная марка А ТВО 029 001 МК-02

· спирт этиловый ректификованный технический марка “Экстра” ГОСТ 18300-87

· перчатки резиновые А7-10 ГОСТ 3-88

· салфетка из мадаполама ТВО 054 115 МК-01

· салфетка из батиста ТВО 054 108 МК-02

Настоящая карта устанавливает порядок проведения процесса удаления пленок фоторезиста с кремниевых пластин, не имеющих металлических покрытий, в серной кислоте, а затем в смеси серной кислоты и перекиси водорода (смеси Каро).

Требования безопасности.

1.1 При проведении данного процесса возможны следующие виды опасности:

1) химические ожоги;

2) отравления;

3) электроопасность;

4) термоопасность;

5) порезы.

1.2 Источниками химических ожогов являются серная кислота, перекись водорода и их смеси, а также их пары при попадании на кожу и в организм человека.

1.3 Источником электроопасности является установка химической обработки с незащищенной электропроводкой и заземлением.

1.4 Источником термоопасности является нагретая смесь серной кислоты и перекиси водорода и подогретая деионизованная вода.

1.5 Источником порезов может быть применяемая стеклянная оснастка со сколами и трещинами.

1.6 Во избежание химических ожогов и отравлений выполнять требования изложенные в ТВО 045 039 ТИ.

1.6.1 Работу со смесью перекиси водорода и серной кислоты на установке проводить только при закрытых шторках, в резиновых перчатках одноразового использования, в нарукавниках и фартуке.

1.6.2 На рабочем месте не должно быть предметов не относящихся денной операции, наличие органических веществ и других реактивов, не предусмотренных картой, так как перекись водорода является сильным окислителем.

1.7 Во избежание термоопасности не касаться руками горячих частей оборудования и горячих растворов.

1.8 Во избежание порезов необходимо быть внимательным и осторожным при использовании оснастки из стекла.

В случае боя стеклянной оснастки собрать крупные осколки сухой салфеткой, а мелкие влажной и выбросить в урну.

1.9 При возникновении аварийной ситуации немедленно отключить технологический блок тумблером, расположенным на нижней панели управления, поставив его в положение ОТКЛ, затем вызвать наладчика, сообщить мастеру.

Подготовка рабочего места и организация трудового процесса.

2.1 Убедитесь по записи в журнале, что производственная гигиена рабочего места и участка соответствует 17.25101.00002.

2.2 Убедиться по журналу готовности оборудования, что установка химической обработки пластин и установка контроля проверены и подготовлены к работе наладчиком.

Без подписи наладчика к работе не приступать, сообщить мастеру.

2.3 Надеть перед началом работы вне рабочей зоны полиэтиленовые нарукавники и резиновые перчатки.

Промыть руки в перчатках деионизованной водой и осушить салфеткой.

2.4 Проводить ежедневно в начале смены протирку влажной салфеткой из мадаполама внешних поверхностей установки и решетки вытяжки слива.

На лицевой панели установки должна быть надпись, указывающая назначение операции и наименование используемого раствора.

2.5 Промыть рабочие ванны и находящиеся в них нагреватели, решетки и крышки деионизированной водой из шланга.

2.6 Слить воду из рабочих ванн, открыв вентили слива. Убедиться в том, что вода полностью удалена из ванн.

2.7 Контролировать расход вод деионизированной по ротаметру, он должен составлять (4±1) л/мин на одну установку.

2.8 Приготовить смесь серной кислоты перекиси водорода в двух рабочих ваннах установки.

2.8.1 Налить на дно первой ванны 25-50 мл перекиси водорода, открыв кран на передней панели установки с надписью перекись водорода на 1-2 с. Закрыть кран.

2.8.2 Налить в первую ванну 6 л серной кислоты, открыв кран на передней панели установки с надписью серная кислота, до верхней отметки на стенки ванны. Закрыть кран.

2.8.3 Налить во вторую ванну 1.8 л перекиси водорода, открыв кран на передней панели установки с надписью перекись водорода, до нижней отметки на стенке ванны. Закрыть кран.

2.8.4 Налить во вторую ванну 4.2 л серной кислоты, открыв кран на передней панели установки с надписью серная кислота, до верхней отметки на стенки ванны. Закрыть кран.

2.8.5 Перемешать приготовленную смесь Каро с помощью стеклянной палочки. Закрыть ванны крышками.

2.8.6 Выставить на реле времени время обработки в первой рабочей ванне (с серной кислотой) 5 минут, во второй рабочей ванне (со смесью Каро) 3 минуты.

2.9 Заполнить промежуточную ванну деионизованной водой, открыв кран.

2.10 Проверить термометром температуру горячей деионизованной воды в промежуточной ванне. Она должна быть (65±5)0С.

Если горячая вода в ванне не соответствует указанной температуре, работу остановить, сообщить неполадку.

2.11 Получить в кассете пластины, предназначенные для данной операции. Убедиться по сопроводительному листу, что полученные пластины предназначены для данной операции и что проведены предыдущие операции.

2.12 При измерении объемов жидких материалов допустимое отклонение обеспечивается имеющимися средствами измерения.

Технологический процесс.

3.1 Включить нагреватель ванн соответствующими тумблерами автомата НАГРЕВАТЕЛЬ, поставив тумблеры в верхнее положение, при этом должны загореться сигнальные лампочки.

3.2 Нагреть серную кислоту (в первой ванне) и смесь Каро (во второй ванне) до температуры (150±10)0С.

При достижении технологической температуры загорается сигнальная лампочка регулятора температуры.

3.3 Открыть крышки ванн.

3.4 Убедиться с помощью термометра, что температура нагретой серной кислоты и смеси Каро соответствуют заданной.

В случае несоответствия температур по регулятору и термометру на величину, превышающую 100С, вызвать наладчика для устранения несоответствия.

Разрешается начинать обработку пластин при температуре 1200С.

3.5 Опустить кассету с пластинами с помощью ручки в ванну с нагретой серной кислотой.

Погружение кассет с пластинами проводить медленно. При возникновении бурной реакции при растворении фоторезиста поднять кассету. Следить за тем, чтобы пластины в процессе погружения остались в пазах кассеты.

3.6 Включить реле времени первой рабочей ванны.

3.7 Извлечь кассету с пластинами с помощью ручки из первой ванны при загорании красной сигнальной лампочки.

В одной порции серной кислоты обрабатывать не более 1500 пластин.