Разраб.

Н. контр.

МК

Маршрутная карта

2

МГОУ

605124

605124 МК

В

Цех

УЧ.

РМ

Опер.

Код, наименование операции

Г

Обозначение документа

Д

Код, наименование оборудования

Е

см

проф

Р

УТ

КР

КОИД

ЕН

ОП

К шт

Тпз

Т шт

Л/М

Наименование детали, сб. единицы или материала

Н/М

Обозначение, код

ОПП

ЕВ

ЕН

КИ

Н. расх.

М 1

ТУ 2378-005-29135749 Фоторезист ФП 383

Н 2

Склад Л 1 5·10-3

Д 3

EVG 101 Установка нанесения, проявления и снятия фоторезиста OSTEC

4

В 5

020 1я сушка

6

Г 7

605124 ОКУ

8

Т 9

БАВнп-01 1, 2(01) БОКС укрытие "Ламинар-С"

Т 10

ТУ 64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 30

Т 11

ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин

Д 12

HP 150 Установка сушильная Sawatec

13

В 14

025 Совмещение и экспонирование

15

Г 16

605124 ОКУ

17

Т 18

БАВнп-01 1, 2(01) БОКС укрытие "Ламинар-С"

Т 19

ТУ 64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 30

Т 20

ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин

Д 21

EVG 620 Установка совмещения и экспонирования OSTEC

22

В 23

030 Проявление фоторезиста

24

Г 25

605124 ОКУ

26

Т 27

БАВнп-01 1, 2(01) БОКС укрытие "Ламинар-С"

Т 28

ТУ 64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 30

Т 30

ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин

Разраб.

Н. контр.

МК

Маршрутная карта

3

МГОУ

605124

605124 МК

В

Цех

УЧ.

РМ

Опер.

Код, наименование операции

Г

Обозначение документа

Д

Код, наименование оборудования

Е

см

проф

Р

УТ

КР

КОИД

ЕН

ОП

К шт

Тпз

Т шт

Л/М

Наименование детали, сб. единицы или материала

Н/М

Обозначение, код

ОПП

ЕВ

ЕН

КИ

Н. расх.

М 1

ТУ 2378-007-29135749 Проявитель УПФ-1Б

Н 2

Склад Л 1 0.4

Д 3

EVG 101 Установка нанесения, проявления и снятия фоторезиста OSTEC

4

В 5

035 2я сушка

6

Г 7

605124 ОКУ

8

Т 9

БАВнп-01 1, 2(01) БОКС укрытие "Ламинар-С"

Т 10

ТУ 64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 30

Т 11

ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин

Д 12

HP 150 Установка сушильная Sawatec

13

В 14

040 Контроль рельефа рисунка фоторезиста

15

Г 16

605124 ОК

17

Т 18

БАВнп-01 1, 2(01) БОКС укрытие "Ламинар-С"

Т 19

ТУ 64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 30

Т 20

ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин

Д 21

ТУ 3-3.1210-75М Микроскоп инспекционный Nikon Eclipse L200A

22

В 23

045 Травление подложки

24

Г 25

605124 ОКУ

26

Т 27

БАВнп-01 1, 2(01) БОКС укрытие "Ламинар-С"

Т 28

ТУ 64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 30

Т 30

ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин

Разраб.

Н. контр.

МК

Маршрутная карта

4

МГОУ

605124

605124 МК

В

Цех

УЧ.

РМ

Опер.

Код, наименование операции

Г

Обозначение документа

Д

Код, наименование оборудования

Е

см

проф

Р

УТ

КР

КОИД

ЕН

ОП

К шт

Тпз

Т шт

Л/М

Наименование детали, сб. единицы или материала

Н/М

Обозначение, код

ОПП

ЕВ

ЕН

КИ

Н. расх.

М 1

Травитесь

Н 2

Склад Л 1 0.6

Д 3

Установка травления

4

В 5

050 Снятие пленки фоторезиста

6

Г 7

605124 ОКУ

8

Т 9

БАВнп-01 1, 2(01) БОКС укрытие "Ламинар-С"

Т 10

ТУ 64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 30

Т 11

ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин

М 12

ТУ 2378-008-29135749 Сниматель СПР-01Ф

Н 13

Склад Л 1 0.8

Д 14

EVG 101 Установка нанесения, проявления и снятия фоторезиста OSTEC

15

В 16

055 Контроль рельефа рисунка подложки

17

Г 18

605124 ОК

19

Т 20

БАВнп-01 1, 2(01) БОКС укрытие "Ламинар-С"

Т 21

ТУ 64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 30

Т 22

ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин

Д 23

ТУ 3-3.1210-75М Микроскоп инспекционный Nikon Eclipse L200A

24

25

26

27

28

30

Разраб.

Н. контр.

МК

Маршрутная карта